教育部科技发展中心

用于加工过程监测与误差补偿的几种新型干涉仪

来源：教育部科技发展中心

发布时间： 2003-03-27

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　　由清华大学承担的国家自然科学基金重点项目"现代质量控制、溯源的若干理论与技术基础研究"中 "质量的定量描述和评价"，"计量标准的直接传递和溯源" 两个子课题已于11月21日通过了教育部组织的专家鉴定。根据国家对于科技成果鉴定的规定，鉴定小组选择了其中的七种干涉仪进行鉴定：高速动态测量长度、俯仰角、偏摆角、滚转角、同轴度/直线度、热误差测量跟踪干涉仪和用于加工中心的三轴激光干涉仪。鉴定成果水平如下：
　　1、滚转角干涉仪：利用非线性范围内的高斜率段进行测量，其方案属国际首创。使其灵敏度总倍增系数达110倍。
　　2、横向塞曼直线度同轴度干涉仪：比纵向塞曼系统缩短100mm,采用共光路设计，大大减少长距离漂移影响，属国际首创。长距离漂移小于名牌商用产品。
　　3、高测速激光干涉仪：激光器用双反射膜实现分裂频率，方法属国际首创。容许测量速度980mm/s，采样频率11kHz。
　　其余四种干涉仪均达到国际先进水平。跟踪干涉仪和用于加工中心的三轴激光干涉仪已经交付使用，用FPGA制成的相位测量卡已经出售, 具备推广应用条件。

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