|
成果名称：科研内容向教学转化——金属薄膜电阻率的测量
申请单位：北京科技大学
成果编号：鉴字[教SW2004 ]第37号
鉴定日期：2004年7月
学 科：仪器仪表
成果简介（1000字以内，可公开部分）
任务来源：北京科技大学国家工科物理基础课程教学基地立项项目。
应用领域和技术原理：把当前科研开发中使用的标准四探针测量金属薄膜电阻率的方法引进到工科物理实验中。使学生们能够掌握微电子技术中实用的测试方法。提高本科生实验课教学的档次。项目主要内容：用标准四探针测量金属薄膜的电阻率。通过测量不同厚度的金属薄膜的面电阻，用公式计算出金属薄膜的电阻率，从而获得金属薄膜的电阻率同薄膜厚度的关系。
《金属薄膜电阻率的测量》实验具有以下几个特点：（1）在[基本要求]和[基本内容]中，既使学生们了解和学会现在科研开发和生产中使用的四探针法测量金属薄膜电阻率的原理和方法，在实际应用中应注意的问题（引起实验测量误差）；又使学生们亲身感受到了工科物理实验在当今高新技术中的应用；同时培养了学生们的对于实验结果的科学、全面、概括的总结能力。（2）[提高要求]和[提高内容]中，扩展和延伸了[基本要求]和[基本内容]，培养了学生们思考问题、分析问题和解决问题的能力。（3）实验装置设计精巧、耐用、价格低廉，适用于大面积推广。
基于上述特点，可以得出以下结论：《金属薄膜电阻率的测量》实验，从实验要求、实验内容、培养训练重点、操作难易程度、实验仪器上讲都适合工科物理实验教学，是一个有特色的实验。
目前，本项目已完成立项时的预定目标，编排出的实验及实验教材作为特色实验之一已用于北京科技大学的物理实验教学，完成了近千人次的实验教学。自行开发研制的实验装置被清华大学、北京工业大学、北京科技大学材料科学与工程学院等院校购买，并在应用中得到好评；另有部分院校，如：北京工商大学、河北理工学院、闽江学院也达成购买意向。除满足教学需要外，该实验装置还承担着为应用科学学院和材料科学与工程学院的本科毕业生、研究生和教师科研服务的任务，真正实现了教学与科研相结合及相互推动。
| 
