成果名称：高性能谐振式传感器关键技术及其应用研究
申请单位：北京航空航天大学
成果编号：鉴字[教 SW2007 ] 第 075 号
鉴定日期：2007年8月25日
学 科：9、仪器仪表
成果简介：
谐振式传感器通过处于谐振状态的弹性敏感元件实现对被测量的测量。具有直接数字式输出（无需A/D或V/F变换）、精度高、灵敏度高、稳定性好的优点，被传感技术领域认为是一类最先进的传感器。本项目研究两类高性能谐振式传感器，即谐振筒压力传感器和科氏质量流量传感器的关键技术。本项目针对上述两类传感器的理论、试验、加工工艺技术等方面开展了深入研究，取得了多项技术突破，成功用于谐振筒压力传感器、科氏质量流量传感器，解决了工程化问题，实现了批量生产。
本对该项目研究过程中，课题组突破了多项关键性技术并取得了多项成果。该成果总体已达到国际先进水平，推动了我国谐振式传感器技术的进步并形成了自主产业，为我国军、民两用的气压与质量流量测量领域提供了技术支撑，特别是谐振筒压力传感器突破了国外技术封锁，为国防建设、国民经济建设做出了重要贡献。
谐振筒压力传感器作为核心部件成功用于我国航空高度分层管理系统，装备了我国现役军机，还用于压力无汞化校准、气象台站、井下通风参数测试系统、航空机载、弹载、战车系统、面具等，同时出口乌克兰等国。谐振式科氏质量流量传感器广泛应用于石油、化工、电力、冶金、食品等行业，用于油品配料控制，油品、天然气贸易交接计量等领域。
项目鉴定期内，累计生产谐振筒压力传感器20209只，其中出口乌克兰204只，配套各类压力测控设备11182台套；累计生产科氏质量流量传感器1146套。创造直接经济效益39067.318万元，利税3943.52万元。
本项目取得的理论与试验成果可用于其他谐振式传感器的研究，相关工艺技术可用于其他高性能弹性敏感元件的加工生产。
可见，本关键技术的突破，对实现该类传感器的市场化、实用化，具有非常重要的意义，该类传感器具有广阔的应用前景。
